Selektive Sauerstoffsensoren durch Oberflächenmodifikationen von hochtemperaturstabilen Ga2O3 Dünnschichten

T. Schwebel, M. Fleischer, H. Meixner

Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceedingChapter

Original languageGerman
Title of host publicationITG-Fachbericht
Pages105-108
Number of pages4
Edition148
Publication statusPublished - 1998

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Selektive Sauerstoffsensoren durch Oberflächenmodifikationen von hochtemperaturstabilen Ga2O3 Dünnschichten. / Schwebel, T.; Fleischer, M.; Meixner, H.

ITG-Fachbericht. 148. ed. 1998. p. 105-108.

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TY - CHAP

T1 - Selektive Sauerstoffsensoren durch Oberflächenmodifikationen von hochtemperaturstabilen Ga2O3 Dünnschichten

AU - Schwebel, T.

AU - Fleischer, M.

AU - Meixner, H.

PY - 1998

Y1 - 1998

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M3 - Chapter

SP - 105

EP - 108

BT - ITG-Fachbericht

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