Selektive Sauerstoffsensoren durch Oberflächenmodifikationen von hochtemperaturstabilen Ga2O3 Dünnschichten

T. Schwebel, M. Fleischer, H. Meixner

Research output: Contribution to journalArticle

Original languageGerman
Pages (from-to)105-108
Number of pages4
JournalITG-Fachbericht
Issue number148
Publication statusPublished - Dec 1 1998

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  • Hardware and Architecture

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